モデル

グローブボックス TOB-MRX-1220

動作電圧

AC110～220V、50/60Hz、単相

グローブボックスチャンバー

ケース素材: ステンレススチール 304、厚さ 3mm

寸法: 1220mm(長さ) x 760mm(幅) x 900mm(高さ)

取り外し可能なフロントウィンドウパネル

チャンバーの状態

水分濃度: <1 ppm (20°C、1 atm)

酸素濃度: <1 ppm (20°C、1 atm)

リーク率

<0.05 Vol% / hr (グローブボックス内の酸素濃度に応じて)

エアロックチャンバー

前室寸法: 360mm(直径) x 600mm(長さ)

小型チャンバー寸法 (ツール用): 150 mm(直径) x 300 mm(L)

作動ガス

動作ガス：N2、Ar、Heなどの不活性ガス

再生ガス：H2(5～10%)と作動ガスの混合ガス

水分吸着機能のみの浄化システムの場合、 

再生ガスは作動ガスと同じになります。

ガス精製システム

自動再生プロセス

水と酸素の自動除去

フィルターシステム

入口および出口フィルターは粒子サイズ > 0.3μm を除去できます

圧力制御システム

グローブボックスチャンバーのPLCによる自動圧力制御

圧力範囲: +/- 12mbar

フットペダルによる手動圧力制御が可能

パージシステム

自動パージシステムにより簡単な操作でガス消費量を削減

制御システム

6 インチのタッチスクリーンディスプレイを備えた Siemens PLC 制御システム

水分濃度：0～1000ppm、精度0.1ppm

酸素濃度: 0 ～ 1000 ppm、精度 0.1 ppm

圧力: -2500 ～ 2500 Pa、精度 1 Pa

データ

自動システムデータロギング

ポンプ

England RV-8 EDWARDS ポンプが付属しており、より迅速な真空と湿気の除去が可能です。

真空速度: 8 m^3/hr

精製パイプライン

304 ステンレス鋼、KF40 および KF25 ポート

手袋

すぐに使用できるように9 3/4インチのブチル手袋が付属しています

点灯

蛍光灯内蔵

製品寸法

2300mm(長さ) x 1500mm(幅) x 1900mm(高さ) (91インチ x 59インチ x 75インチ)

保証

1 年間の限定保証と生涯サポート