ラボ1200Cシングルゾーン管状炉CVDシステム
ザCVDシステムで構成されていますガス供給システム+管状炉+真空システム、および最高温度は1200度、1400度、1600度、および1700度に達する可能性があります。加熱ゾーンは、単一温度ゾーン、二重温度ゾーン、3温度ゾーンなどにすることができます。最終的な真空は到達することができます10-3Pa。ガス供給システムは、流量調整用の質量流量計またはフロート流量計にすることができます。ミキシングチャンネルの数は、2チャンネル、3チャンネル、4チャンネル、および5チャンネルにすることができます。
管状炉の詳細な技術パラメータ
タイプ | 1200-I | 1200-II | 1200-III | 1200-V | 1200-VI | 1200-VII |
力 | 3.5KW | 3.5KW | 3.5KW | 5KW | 6KW | 7KW |
チューブサイズ(OD(mm) | 直径60X1000 | Dia80X1000 | Dia100X1000 | Dia150X1000 | Dia200X1000 | Dia250X1000 |
寸法 | 1140X450X690 | 1140X450X690 | 1140X450X690 | 1110X530X755 | 1120X580X805 | 1314X680X905 |
供給電圧 | 220V | |||||
段階 | 単相 | |||||
発熱体 | 抵抗線 | |||||
温度管理 | UAVプログラムの温度制御 楽器(標準) 1、30段階のプログラム温度 インテリジェントなPID調整を制御します。 2.過熱保護付きで、 電気炉の加熱回路は、 温度が過熱または破損している(電気炉の場合) 温度が1200度を超えるか、熱電対が飛んでいる、ACリレー | |||||
主回路のは自動的に切断され、主回路は | 壊れた。オン、パネルのオンライトがオフ、オフライトがオン、そして 限定保護電気炉)。 3、485通信インターフェース付き | |||||
(ソフトウェア購入時の標準) | ||||||
4、電源オフ保護付き | ||||||
機能、つまり、電源を切った後に電源を入れたとき、 | プログラムは開始温度からではなく、炉から始まります | |||||
停電時から温度が上昇します。 | 5、 | |||||
メーターには温度セルフチューニングの機能があります | (追加料金を支払う必要があります | |||||
輸入機器の交換、オプション) | FP93温度コントローラー(島島、 | |||||
日本)ヨーロッパの機器タッチスクリーン機器 | チャンバー材料 | |||||
1.1。 | 高品質で高純度のアルミナ多結晶繊維硬化炉を形成 | |||||
真空吸引ろ過による。 | 2.2。 | |||||
日本の技術によって形成されました。 | 3.抵抗の間隔とピッチ | |||||
炉内のワイヤーはすべて、最高の熱に従って配置されています | 日本の技術であり、温度場は熱によってシミュレートされます | |||||
ソフトウェア。 | バルブとフランジ | |||||
60/80/100上面図 | 温度校正 | |||||
(オプション) | 通常 | |||||
管状炉の温度校正は精度を維持し、 | ||||||
炉の温度の均一性。簡単なキャリブレーションを購入できます | この作業を支援する会社のツール。完全なキャリブレーション | |||||
キットには、標準の熱電対Sタイプの温度校正器が含まれています。 | 制御精度 |
+/-1℃
引き金
位相シフト
引き金
電化製品
浙江チント
シリコン制御
106/16エセミクロン
最高温度
1200℃
定格温度
1150℃
暖房速度
≤30℃/分(it
必要に応じて変更できます)
の推奨レート
温度上昇
≤15℃/分
熱電対タイプ
Kタイプ
加熱長さ
400-440mm
一定の温度の長さ
150mm
温度場曲線
周辺表面温度
≤45℃ | オープンカバー保護 | システム | |
炉カバーが | 開くと、リレーは自動的に主電源を遮断します。 | ユーザーの安全を効果的に確保します。 | VS-0.1 |
バキュームシステム(VRD16) | |||
システム | (管状炉の真空を0.6Paまでポンプで送ることができます)は吸引フランジで構成されています | ||
(自作)KF25インターフェース、高真空バッフル方式、抵抗真空 | |||
ゲージ、ベローズ、ブラケット(自家製)、真空ポンプティーパイプを | フランジ出口、抵抗シリコンを三方管の一端に接続し、 | ||
高真空フラッパーバルブをもう一方の端に接続し、フラッパーを接続します | バルブとDia25の波形の真空ポンプ、そしてKF25クイックを使用してください | ||
接続ポートのクランプ。 。 | 1.圧力検出システム | ||
ZDR-I/ZDR-I-LEDタイプ単抵抗 | 真空計 | ||
抵抗真空計 | (ピラニ真空計としても知られています)は、特別に安定化されたZJ-52Tを使用します | ||
抵抗計と新しい定温動作モードをに適用します | 一定の力。同時に、マイクロプロセッサは、 | ||
規制の非線形性。線形処理。特徴があります | 安定した性能、広い測定範囲、高速応答、小さなドリフトを実現します。と | ||
強力で信頼性の高いマイクロプロセッサベースのリレー制御、シリアル通信 | 出力、真空アナログ出力およびその他の機能。特にに適しています | 大まかな低真空測定と真空アプリケーションの制御。 |
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配電規制:ZJ-52T抵抗ゲージ
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測定範囲:10 5〜10 -1 Pa
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測定回数:片道
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制御チャネル数:2本の道路を4本または8本の道路に延長できます
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制御範囲:5×10 3〜5×10 -1 Pa
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制御モード:リレー接点出力、負荷容量AC220V / 3A(またはDC28V / 3A)非誘導
ロード
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電力:90-260V / 50Hzまたは220V±10%50Hz
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消費電力:25W
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重量:4Kg / 3Kg / 0.5Kg(シャーシによって異なります)
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シャーシサイズ:240×88×280または265×119×280または96×96×120
480
×88×280または480×119×280(幅×高さ×奥行き)
3.パフォーマンス特性:
*導いた
グリーンスクリーンデジタルディスプレイ。
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幅広い星の調査
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速い応答速度
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マイクロコンピューターの補正は非線形性を調整し、測定誤差を減らします。
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光絶縁、デジタルフィルタリング、強化された干渉防止機能。
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PVCカラーパネル、美しい外観。
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セットポイントがパワーダウンしている間、ポイント制御またはエリアリレー制御出力
保護メモリ機能。
4.VRD16真空ポンプを採用
VRD16
専門用語
仕様