ラボ1200Cシングルゾーン管状炉CVDシステム

Sales ラボ1200Cシングルゾーン管状炉CVDシステム

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製品の詳細  

ラボ1200Cシングルゾーン管状炉CVDシステム

CVDシステムで構成されていますガス供給システム+管状炉+真空システム、および最高温度は1200度、1400度、1600度、および1700度に達する可能性があります。加熱ゾーンは、単一温度ゾーン、二重温度ゾーン、3温度ゾーンなどにすることができます。最終的な真空は到達することができます10-3Pa。ガス供給システムは、流量調整用の質量流量計またはフロート流量計にすることができます。ミキシングチャンネルの数は、2チャンネル、3チャンネル、4チャンネル、および5チャンネルにすることができます。


管状炉の詳細な技術パラメータ

タイプ

1200-I

1200-II

1200-III

1200-V

1200-VI

1200-VII

3.5KW

3.5KW

3.5KW

5KW

6KW

7KW

チューブサイズ(OD(mm)

直径60X1000

Dia80X1000

Dia100X1000

Dia150X1000

Dia200X1000

Dia250X1000

寸法

1140X450X690

1140X450X690

1140X450X690

1110X530X755

1120X580X805

1314X680X905

供給電圧

220V

段階

単相

発熱体

抵抗線

温度管理


UAVプログラムの温度制御

楽器(標準)

1、30段階のプログラム温度

インテリジェントなPID調整を制御します。

2.過熱保護付きで、

電気炉の加熱回路は、

温度が過熱または破損している(電気炉の場合)

温度が1200度を超えるか、熱電対が飛んでいる、ACリレー

主回路のは自動的に切断され、主回路は


壊れた。オン、パネルのオンライトがオフ、オフライトがオン、そして

限定保護電気炉)。

3、485通信インターフェース付き

(ソフトウェア購入時の標準)


4、電源オフ保護付き

機能、つまり、電源を切った後に電源を入れたとき、

プログラムは開始温度からではなく、炉から始まります

停電時から温度が上昇します。

5、

メーターには温度セルフチューニングの機能があります

(追加料金を支払う必要があります

輸入機器の交換、オプション)

FP93温度コントローラー(島島、

日本)ヨーロッパの機器タッチスクリーン機器

チャンバー材料

1.1。

高品質で高純度のアルミナ多結晶繊維硬化炉を形成

真空吸引ろ過による。

2.2。

日本の技術によって形成されました。

3.抵抗の間隔とピッチ

炉内のワイヤーはすべて、最高の熱に従って配置されています

日本の技術であり、温度場は熱によってシミュレートされます

ソフトウェア。

バルブとフランジ

60/80/100上面図

温度校正

(オプション)

通常

管状炉の温度校正は精度を維持し、


炉の温度の均一性。簡単なキャリブレーションを購入できます

この作業を支援する会社のツール。完全なキャリブレーション

キットには、標準の熱電対Sタイプの温度校正器が含まれています。

制御精度



+/-1℃

引き金

位相シフト

引き金

電化製品

浙江チント

シリコン制御

106/16エセミクロン

最高温度

1200℃

定格温度

1150℃

暖房速度

≤30℃/分(it

必要に応じて変更できます)

の推奨レート

温度上昇


≤15℃/分

熱電対タイプ

Kタイプ

加熱長さ

400-440mm

一定の温度の長さ

150mm

温度場曲線

周辺表面温度

≤45℃

オープンカバー保護

システム

炉カバーが

開くと、リレーは自動的に主電源を遮断します。

ユーザーの安全を効果的に確保します。

VS-0.1

バキュームシステム(VRD16)

システム

(管状炉の真空を0.6Paまでポンプで送ることができます)は吸引フランジで構成されています

(自作)KF25インターフェース、高真空バッフル方式、抵抗真空

ゲージ、ベローズ、ブラケット(自家製)、真空ポンプティーパイプを

フランジ出口、抵抗シリコンを三方管の一端に接続し、

高真空フラッパーバルブをもう一方の端に接続し、フラッパーを接続します

バルブとDia25の波形の真空ポンプ、そしてKF25クイックを使用してください

接続ポートのクランプ。 。

1.圧力検出システム

ZDR-I/ZDR-I-LEDタイプ単抵抗

真空計

抵抗真空計

(ピラニ真空計としても知られています)は、特別に安定化されたZJ-52Tを使用します

抵抗計と新しい定温動作モードをに適用します

一定の力。同時に、マイクロプロセッサは、

規制の非線形性。線形処理。特徴があります

安定した性能、広い測定範囲、高速応答、小さなドリフトを実現します。と

強力で信頼性の高いマイクロプロセッサベースのリレー制御、シリアル通信

出力、真空アナログ出力およびその他の機能。特にに適しています

大まかな低真空測定と真空アプリケーションの制御。




2.技術的パラメータ:

*

配電規制:ZJ-52T抵抗ゲージ

*

測定範囲:10 5〜10 -1 Pa

*

測定回数:片道


*

制御チャネル数:2本の道路を4本または8本の道路に延長できます

*

制御範囲:5×10 3〜5×10 -1 Pa

*

制御モード:リレー接点出力、負荷容量AC220V / 3A(またはDC28V / 3A)非誘導

ロード

*

電力:90-260V / 50Hzまたは220V±10%50Hz

*


消費電力:25W


*

重量:4Kg / 3Kg / 0.5Kg(シャーシによって異なります)

*

シャーシサイズ:240×88×280または265×119×280または96×96×120

480

×88×280または480×119×280(幅×高さ×奥行き)

3.パフォーマンス特性:

*導いた

グリーンスクリーンデジタルディスプレイ。

*

幅広い星の調査

*

速い応答速度

*

マイクロコンピューターの補正は非線形性を調整し、測定誤差を減らします。

*

光絶縁、デジタルフィルタリング、強化された干渉防止機能。

*

PVCカラーパネル、美しい外観。

*

セットポイントがパワーダウンしている間、ポイント制御またはエリアリレー制御出力

保護メモリ機能。

4.VRD16真空ポンプを採用



CVD system

Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



VRD16

専門用語

仕様



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