1500-1500Cデュアルゾーン回転式管状炉を備えたラボCVDシステム

Sales 1500-1500Cデュアルゾーン回転式管状炉を備えたラボCVDシステム

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製品の詳細  

1500-1500Cデュアルゾーン回転式管状炉を備えたラボCVDシステム

CVDシステムはガス供給システム+管状炉+真空システムで構成されており、最高温度は1200度、1400度、1600度、1700度に達する可能性があります。加熱ゾーンは、単一温度ゾーン、二重温度ゾーン、3温度ゾーンなどにすることができます。最終的な真空は10-3Paに達する可能性があります。ガス供給システムは、流量調整用の質量流量計またはフロート流量計にすることができます。ミキシングチャンネルの数は、2チャンネル、3チャンネル、4チャンネル、および5チャンネルにすることができます。


詳細な技術パラメータ

モデル

1500-1500-I 1500-1500-II

9KW 9KW 9KW

チューブ

サイズ

直径

60(OD)X1400 mm Dia 80(OD)X1400 mm

供給

電圧

380V 380V 380V

段階

デュアルフェーズデュアルフェーズ

チューブ

コランダムチューブ:高純度AIO

セラミック(含む)99.5%

暖房

エレメント

初め

温度ゾーン:シリコンカーボンロッド2番目の温度ゾーン:シリコンカーボンロッド

炉管の回転速度

無段階可変速モーターで、

速度は(1-25 RPM)の間で調整できます

モーターのパワー

40W

炉は斜めに傾けることができます

0-30度

ドライブの種類

歯付きベルトとギア

コントロール

モード

UAVプログラム温度制御機器

(標準)


1、30段階のプログラム温度制御

インテリジェントなPID調整。

2.過熱保護付き、電気

温度が下がると、炉の加熱回路は自動的に遮断されます

過熱または破損(電気炉温度を超えた場合)

1520度または熱電対が飛んでいる、主回路のACリレー

自動的に切断され、主回路が壊れます。オン、オン

パネルのライトがオフ、オフライトがオン、制限付き保護

電気炉)。

3、485通信インターフェース(標準

ソフトウェア購入時)

4、電源オフ保護機能付き、

つまり、電源を切った後に電源を入れると、プログラム

開始温度からではなく、炉内温度

停電時から上昇します。

5、メーターは温度セルフチューニングの機能を持っています

(交換には追加料金が必要です

輸入機器の、オプション)

FP93機器

EUROTHERM楽器

タッチスクリーン

楽器

(島電、日本)



炉の材料

1.高品質で高純度のアルミナ多結晶

吸引ろ過により形成された繊維硬化炉。

2.成形に日本の技術を採用。

コントロール

正確さ

+/-1℃

引き金

位相シフト

引き金

電気の

アプライアンス

浙江

チント

ケイ素

制御

106/16エセミクロン

第1および第2の温度ゾーンの最高温度

1500℃

定格

第1および第2の温度ゾーンの温度

1400℃

暖房

レート

≤20℃/分(必要に応じて変更可能)

おすすめされた

温度上昇率

≤10℃/分

熱電対

最初のSタイプ

温度帯

S

2番目の温度領域を入力します

長さ

第1および第2の温度ゾーンの加熱セクションの

300 + 300mm 300 + 300mm

一定の温度の長さ

450mm 450mm

Gx-3 3チャンネルエアサプライ(混合

空気)システム

1.1。ガスはシリンダーを出て、

減圧弁で減圧し、PTFEチューブを通過

ガス供給システムの入口に到達し、マスフローを通過します




ガスの流れを制御するためのメーター、そしてガス混合タンクを通過し、

その後、炉の入口に入ります。

1.2。

2)


ガス混合槽には圧力計が取り付けられており、圧力計は

ディスプレイディスクとプロトン流量計コントローラーが同じ場所に設置されている

パネル。

1.3。

各ガスラインには、安全のために高圧遮断弁があります。

1.4。

ガス経路は高精度ガス質量流量計を採用し、内部は

ガス経路はすべてステンレス鋼管でできており、腐食が良好です。

抵抗。

1.5。

ボックス内のすべてのジョイントは、ステンレス鋼のフェルールによって接続されています。

良好な気密性と高圧耐性。

2.技術的パラメータ:

空気圧チャネル:3

ガスフロー制御:

質量流量計。

キャビネットの寸法:

600X600X600mm

質量流量計

技術的パラメータ:

インターフェース:Φ6

ディスプレイ:LED

作業環境温度:5〜45°C

フローコントローラー:

プロトンフローコントローラーのパラメーターもう一度確認してください

ステンレス鋼管:

XΦ4の外側のΦ6

圧力真空

表:-0.1〜0.15 MPa、0.01

MPa/分割

ストップバルブ:Φ6

フロー制御:PLC

インテリジェント制御

功率

3.質量流量計

电压

技術的パラメータ:

转速

製品

名前:マスフローコントローラー

製品

説明:ノーマルタイプ、アナログ回路

6

製品

詳細:通常、アナログ回路、ラバーシール、管状シャント、簡単ではありません

ブロック。

主要

インジケーター:範囲:5、10、20、30、50、100、200、300、500 SCCM、1、2、3、5、10

SLM(範囲は任意に選択できます)

••

精度:±1%F.S

••

線形:0.5%F.S

••

再現性:±0.2%F.S

••

応答時間:1S

••

空気圧降下:<0.01MPa

••

最大圧力:3MP

••

作業環境温度:5〜45°C

••

入出力信号:0〜+ 5.00V

••

電源:+ 15V 50mA -15V 50mA

••

PECVD




Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



寸法:158 * 30 * 110

••

重量:0.9 Kgg



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