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1500-1500Cデュアルゾーン回転式管状炉を備えたラボCVDシステム
CVDシステムはガス供給システム+管状炉+真空システムで構成されており、最高温度は1200度、1400度、1600度、1700度に達する可能性があります。加熱ゾーンは、単一温度ゾーン、二重温度ゾーン、3温度ゾーンなどにすることができます。最終的な真空は10-3Paに達する可能性があります。ガス供給システムは、流量調整用の質量流量計またはフロート流量計にすることができます。ミキシングチャンネルの数は、2チャンネル、3チャンネル、4チャンネル、および5チャンネルにすることができます。
詳細な技術パラメータ
モデル | 1500-1500-I 1500-1500-II |
力 | 9KW 9KW 9KW |
チューブ | サイズ |
直径 | 60(OD)X1400 mm Dia 80(OD)X1400 mm |
供給 | 電圧 |
380V 380V 380V | 段階 |
デュアルフェーズデュアルフェーズ | チューブ |
コランダムチューブ:高純度AIO | セラミック(含む)99.5% |
暖房 | エレメント |
初め | 温度ゾーン:シリコンカーボンロッド2番目の温度ゾーン:シリコンカーボンロッド |
炉管の回転速度 | 無段階可変速モーターで、 |
速度は(1-25 RPM)の間で調整できます | モーターのパワー 40W 炉は斜めに傾けることができます 0-30度 ドライブの種類 歯付きベルトとギア コントロール モード UAVプログラム温度制御機器 |
(標準) | 1、30段階のプログラム温度制御 インテリジェントなPID調整。 |
2.過熱保護付き、電気 | 温度が下がると、炉の加熱回路は自動的に遮断されます |
過熱または破損(電気炉温度を超えた場合) | 1520度または熱電対が飛んでいる、主回路のACリレー |
自動的に切断され、主回路が壊れます。オン、オン | パネルのライトがオフ、オフライトがオン、制限付き保護 |
電気炉)。 | 3、485通信インターフェース(標準 |
ソフトウェア購入時) | 4、電源オフ保護機能付き、 |
つまり、電源を切った後に電源を入れると、プログラム | 開始温度からではなく、炉内温度 |
停電時から上昇します。 | 5、メーターは温度セルフチューニングの機能を持っています |
(交換には追加料金が必要です | 輸入機器の、オプション) |
FP93機器 |
|
EUROTHERM楽器 | タッチスクリーン |
楽器 | (島電、日本) |
炉の材料
1.高品質で高純度のアルミナ多結晶
吸引ろ過により形成された繊維硬化炉。
2.成形に日本の技術を採用。
コントロール
正確さ
+/-1℃
引き金
位相シフト
引き金
電気の
アプライアンス
浙江
チント
ケイ素
制御
106/16エセミクロン
ザ
第1および第2の温度ゾーンの最高温度
1500℃
定格
第1および第2の温度ゾーンの温度
1400℃
暖房
レート
≤20℃/分(必要に応じて変更可能)
おすすめされた
温度上昇率
≤10℃/分
熱電対
最初のSタイプ
温度帯
S
2番目の温度領域を入力します
長さ
第1および第2の温度ゾーンの加熱セクションの
300 + 300mm 300 + 300mm
一定の温度の長さ
450mm 450mm
Gx-3 3チャンネルエアサプライ(混合
空気)システム
1.1。ガスはシリンダーを出て、
減圧弁で減圧し、PTFEチューブを通過
ガス供給システムの入口に到達し、マスフローを通過しますガスの流れを制御するためのメーター、そしてガス混合タンクを通過し、
その後、炉の入口に入ります。 1.2。 2) | ガス混合槽には圧力計が取り付けられており、圧力計は | ディスプレイディスクとプロトン流量計コントローラーが同じ場所に設置されている | |
パネル。 | 1.3。 | ||
各ガスラインには、安全のために高圧遮断弁があります。 | 1.4。 | ||
ガス経路は高精度ガス質量流量計を採用し、内部は | ガス経路はすべてステンレス鋼管でできており、腐食が良好です。 | ||
抵抗。 1.5。 | ボックス内のすべてのジョイントは、ステンレス鋼のフェルールによって接続されています。 | 良好な気密性と高圧耐性。 | |
2.技術的パラメータ: | 空気圧チャネル:3 | ||
ガスフロー制御: | 質量流量計。 | ||
キャビネットの寸法: | 600X600X600mm | ||
質量流量計 | 技術的パラメータ: | ||
インターフェース:Φ6 | ディスプレイ:LED | ||
作業環境温度:5〜45°C | フローコントローラー: | ||
プロトンフローコントローラーのパラメーターもう一度確認してください | ステンレス鋼管: | ||
XΦ4の外側のΦ6 | 圧力真空 | ||
表:-0.1〜0.15 MPa、0.01 | MPa/分割 | ||
ストップバルブ:Φ6 フロー制御:PLC インテリジェント制御 | 功率 | 3.質量流量計 | |
电压 | 技術的パラメータ: | ||
转速 | 製品 | ||
名前:マスフローコントローラー | 製品 | ||
説明:ノーマルタイプ、アナログ回路 | 6 | ||
製品 | 詳細:通常、アナログ回路、ラバーシール、管状シャント、簡単ではありません | ||
ブロック。 主要 | インジケーター:範囲:5、10、20、30、50、100、200、300、500 SCCM、1、2、3、5、10 | SLM(範囲は任意に選択できます) | |
•• | 精度:±1%F.S | ||
•• | 線形:0.5%F.S | ||
•• | 再現性:±0.2%F.S | ||
•• | 応答時間:1S | ||
•• | 空気圧降下:<0.01MPa | ||
•• | 最大圧力:3MP | •• | |
作業環境温度:5〜45°C | •• | ||
入出力信号:0〜+ 5.00V | •• | ||
電源:+ 15V 50mA -15V 50mA | •• |
寸法:158 * 30 * 110
••
重量:0.9 Kgg