ガス供給システムと真空システムを備えた1600CPECVD炉
ザ
PECVDシステムは、管状炉、石英真空チャンバー、真空で構成されています
システム、ガス供給システム、および無線周波数電源システム。主に | 用途：金属薄膜、セラミック薄膜、複合薄膜、 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
グラフェンなど。関数の追加が簡単で、次のような関数を拡張できます。 | プラズマの洗浄とエッチング。 PECVDシステムには高膜の利点があります | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
堆積速度、良好な均一性、高い一貫性と安定性。 | 詳細な技術 パラメーター | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
モデル | TL1600-I | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
力 | 5KW | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
チューブサイズ（OD）（mm） | 高純度コランダムチューブ：60mm（チューブ径） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
両側に2つのファーネスプラグが配置されています。ザ | ファーネスプラグは、ファーネスチューブの中央で熱放射を遮断できます | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
加熱する前に、炉内の正しい位置に配置する必要があります。 | 寸法 1120X490X855 供給電圧 220V 段階 単相
発熱体
1800モデルシリコンモリブデンバー 温度制御タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
使用する | ユディアンプログラム温度調節器（標準） 1.1。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
30セグメントプログラム温度制御インテリジェントPID調整。 |
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2.2。 | 過熱保護により、電気炉加熱回路は | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
温度が過熱したとき、または | カップルが壊れています。オン、パネルのオンライトがオフ、オフライトがオン、 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
電気炉は限定的に保護されています）。 | 3.3。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
485通信インターフェース付き（オプションのソフトウェアで標準） | 4.4。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
停電防止機能を備えています。 | 電源を切った後に電源を入れた場合、プログラムは | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
初期温度ですが、電源が入ったときの炉内温度から始まります | オフです。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
5. | メーターには温度セルフチューニングの機能があります | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
（輸入品の交換には追加料金が必要です | 楽器、オプション） | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
FP93機器EUROTHERM機器タッチスクリーン | 楽器 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
（島電、日本） | チャンバー材料 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
1.炉床の素材は高品質で作られています | アルミナ多結晶繊維。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
2.内部炉の表面はでコーティングされています
| 輸入された1800度の高温アルミナコーティング。 放射率と温度場のバランスを取ります。 バルブとフランジ 制御精度
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スクリーンデジタルディスプレイ。 |
採用 VRD16真空ポンプ VRD16 専門用語 仕様 VRD-16 ポンピング速度m³/h（L / s）
モーターパワー（KW） 0.75 KW / 0.55 KW インレット/アウトレット接続DN KF25
フローコントローラーを使用しています。背面をご覧ください
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インテリジェント制御
テクニカル | マスフローコントローラーのパラメーター： |
製品 | 説明：コモンタイプ、アナログ回路 |
製品 | 詳細説明：通常タイプ、アナログ回路、ゴムシール、管状 シャント、ブロックするのは簡単ではありません。 |
主要 | 指標： |
範囲 | 5、10、20、30、50、100、200SCCM（任意の範囲を選択可能）いつ確認してください |
注文します | 正確さ±1％F.S |
線形 | 0.5％F.S |
再現性 | ±0.2％F.S |
応答 | 時間 |
空気 | 圧力降下 |
<0.01MPa | 最大 |
プレッシャー
3MP
働く
環境温度
5〜45℃
入力
および出力信号
0〜+ 5.00V
力
供給
+ 15V 50mA -15V 50mA
寸法
158 * 30 * 110
重さ
0.9キロ
ガス供給システムの構成：
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