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製品の詳細

CVDシステム用VRD16真空ポンプを備えた真空システム

I.概要

システム

（管状炉の真空を0.6Paまでポンプで送ることができます）は吸引フランジで構成されています

（自作）KF25インターフェース、高真空バッフル方式、抵抗真空

ゲージ、ベローズ、ブラケット（自家製）、真空ポンプティーパイプを

フランジ出口、抵抗シリコンを三方管の一端に接続し、

高真空フラッパーバルブをもう一方の端に接続し、フラッパーを接続します

バルブとDia25の波形の真空ポンプ、そしてKF25クイックを使用してください

接続ポートのクランプ。。

2.圧力検出システム

ZDR-I/ZDR-I-LEDタイプ単抵抗

真空計

抵抗真空計

（ピラニ真空計としても知られています）は、特別に安定化されたZJ-52Tを使用します

抵抗計と新しい定温動作モードをに適用します

一定の力。同時に、マイクロプロセッサは、

規制の非線形性。線形処理。特徴があります

安定した性能、広い測定範囲、高速応答、小さなドリフトを実現します。と

強力で信頼性の高いマイクロプロセッサベースのリレー制御、シリアル通信

出力、真空アナログ出力およびその他の機能。特にに適しています

大まかな低真空測定と真空アプリケーションの制御。

技術的パラメータ：

配電規制：ZJ-52T抵抗ゲージ

測定範囲：10 5〜10 -1 Pa

*	測定回数：片道		*
制御チャネル数：2本の道路を4本または8本の道路に延長できます	*	制御範囲：5×10 3〜5×10 -1 Pa	*
			制御モード：リレー接点出力、負荷容量AC220V / 3A（またはDC28V / 3A）非誘導
		ロード	*
			電力：90-260V / 50Hzまたは220V±10％50Hz
	*		消費電力：25W
	*		重量：4Kg / 3Kg / 0.5Kg（シャーシによって異なります）
	*		シャーシサイズ：240×88×280または265×119×280または96×96×120
	480		×88×280または480×119×280（幅×高さ×奥行き）
	性能特性：		*導いた
	グリーンスクリーンデジタルディスプレイ。		*
	幅広い星の調査		*
	速い応答速度	*	マイクロコンピューターの補正は非線形性を調整し、測定誤差を減らします。